반도체 생명수 ‘초순수’ 국산화…하루 1200t 생산·공급
박승기 기자
수정 2024-12-09 14:54
입력 2024-12-09 14:54
민관 합작 9일 구미서 실증플랜트 통수식
국산 초순수로 만든 SiC 공급 및 수출 기대
국내 기술로 개발된 ‘초순수’가 시장에 공급된다. 초순수는 반도체 산업의 생명수로 불리며 불순물이 없는 깨끗한 물로, 반도체 표면의 각종 부산물과 오염물질 등의 세척에 사용된다. 반도체 외에도 의료·바이오, 화학, 이차전지, 디스플레이 등 첨단 산업에 사용되는 필수 자원으로 주로 해외 기술에 의존했다.
환경부는 9일 경북 구미 SK실트론 구미2공장에서 ‘초순수 국산화 실증플랜트 통수식’을 가졌다고 밝혔다. 일본의 소부장(소재·부품·장비) 수출 규제에 대응해 시작한 국산화 작업이 마무리됐다. 환경부는 한국환경산업기술원과 함께 2021년 4월 고순도 공업용수 국산화 기술개발 사업에 나서며 초순수 국산화를 추진했다. 내년 최종 완료될 사업에는 국고(324억 5000만원)을 포함해 총 443억 4000만원이 투입됐다. 이날 통수식을 가진 초순수 실증플랜트는 설계·시공·운영은 100% 국내 기술이, 핵심 기자재는 70%가 국산 제품이다. 하루 최대 1200t의 초순수를 생산할 수 있으며 SK실트론 공장에 24시간 연속으로 초순수를 공급한다. 초순수는 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 생산에 쓰인다. 에스케이실트론은 국산 초순수로 만든 실리콘카바이드 웨이퍼를 국내 반도체 기업에 공급하고 해외에 수출도 할 수 있게 됐다.
초순수 시장은 2028년까지 국내 2조 5000억원, 세계 35조 5000억원 규모로 성장이 예상되는 분야다. 환경부는 초순수 시장에 국내 기업이 진입할 수 있는 기반 마련에 따라 내년부터 2030년까지 후속 연구개발 사업을 진행하고 2031년 ‘초순수 플랫폼 센터’를 구축해 기술 확보와 인력 양성에 나설 계획이다.
박재현 환경부 물관리정책실장은 “초순수 국산화는 반도체 산업 육성의 든든한 토대가 될 것”이라며 “반도체 산업단지의 안정적인 용수 공급과 함께 초순수 생태계 활성화를 위한 국산 기술력 향상 및 해외 시장 진출을 적극 지원할 계획”이라고 밝혔다.
세종 박승기 기자
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